DAEIL 隔振平臺電子顯微鏡內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)

無噪聲的納米級成像

亞赫茲隔振性能

DVIA-M 系列嵌入主動振動控制算法，
可在六個自由度下提供 1 Hz 時 50% – 80% 的隔振效果，在 2 Hz 時提供 90% 的隔振效果。

內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)

DVIA-M 主動隔振器設(shè)計(jì)為納米級成像設(shè)備（如電子顯微鏡）的內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)

反饋和饋送控制算法

DVIA 系列使用反饋控制算法連續(xù)檢測干擾隔離
表面的振動，并立即做出反應(yīng)以實(shí)時減少振動。DVIA 系列采用前饋控制算法
，在地板振動傳遞到安裝在主動隔振系統(tǒng)上的設(shè)備之前，提前過濾掉地板振動
。

所有六個自由度的
主動隔振

DVIA 系列控制三個平移度
（X、Y 和 Z）和三個旋轉(zhuǎn)度（俯仰、滾動和偏航）的振動。

DAEIL 隔振平臺電子顯微鏡內(nèi)置主動隔振系統(tǒng)

DAEIL SYSTEMS高級氣動隔振器 DVIM-G 系列:

DVIM-G 系列是一種優(yōu)良的氣動隔振器，設(shè)計(jì)用于在其他氣動隔振器中提供隔振性能、最高的阻尼水平和最快的有效載荷穩(wěn)定時間。
在其他氣動隔振器中，DVIM-G 系列具有隔振性能、最高的阻尼水平和最快的有效載荷沉降時間。

隔振性能
DVIM-G 系列采用特殊的機(jī)械濾波器系統(tǒng)隔振器設(shè)計(jì)，盡可能降低共振頻率，從而有效減少地面振動，在 5 Hz 時可提供 80% – 90% 的隔振效果。

雙室隔離系統(tǒng)
DVIM-G 系列的雙室系統(tǒng)由一個空氣室和一個阻尼室組成。
由兩個孔口連接：可變孔口和內(nèi)部孔口?？勺兛卓谖挥跉馐彝獠?，內(nèi)部孔口位于氣室內(nèi)部。
內(nèi)孔位于腔體內(nèi)。這些孔口控制腔室之間的氣流，以提高
阻尼效率，并縮短其沉降時間。當(dāng)階段加速的高力發(fā)生時，氣室
產(chǎn)生恢復(fù)力，空氣通過氣孔流入阻尼室。這些氣孔會耗散空氣中的能量
空氣中的能量，從而有效地對系統(tǒng)進(jìn)行阻尼。

高性能水平調(diào)節(jié)閥
標(biāo)準(zhǔn)水平調(diào)節(jié)閥的重復(fù)精度為 ±0.1 mm，精密水平調(diào)節(jié)閥的重復(fù)精度為 ±0.05 mm。
如果對重新找平精度和沉降時間都有要求，建議使用精密找平閥。

DAEIL SYSTEMS高級氣動隔振器 DVIM-G 系列

5 Hz 時的隔振率為 80 – 90
(無阻尼器）